Plaats van herkomst:
China
Merknaam:
KACISE
Certificering:
CE
Modelnummer:
KGD-MQ-537
Attribuut | Waarde |
---|---|
Detectieprincipe | NDIR |
Gedetecteerde gassen | SIF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Meetbereik | 1 - 264ppm (0 - 200mtorr) |
Herhaalbaarheid | ± 0,5% |
Lineariteit | ± 1%FS |
Detectielimiet | 1ppm |
De KGD - MQ - 537 Infraroodgassensor is gebaseerd op niet -dispersieve infrarood (NDIR) -technologie. Het kan gassen zoals SIF4, CF4, SF6, NF3 en CO2 gegenereerd in halfgeleidertoepassingen nauwkeurig meten. Het is compatibel met gemeenschappelijke vooraf ingestelde dimensies, flenzen en communicatieprotocollen in apparatuur. Het kan worden gebruikt voor eindpuntdetectie in halfgeleiderafzetting en reinigingsprocessen, evenals terminale detectie voor kamerreiniging, het helpen verminderen van de reinigingstijd, het verlagen van de kosten en het verhogen van de productie.
Parameter | Details |
---|---|
Detectieprincipe | NDIR |
Gedetecteerde gassen | SIF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Meetbereik | 1 - 264ppm (0 - 200mtorr) |
Herhaalbaarheid | ± 0,5% |
Lineariteit | ± 1%FS |
Detectielimiet | 1ppm |
Stuur uw vraag rechtstreeks naar ons