Plaats van herkomst:
China
Merknaam:
KACISE
Certificering:
CE
Modelnummer:
KGD-MQ-537
De KGD-MQ-537 infraroodgassensor maakt gebruik van niet-dispersieve infraroodtechnologie (NDIR) om nauwkeurig gassen te meten, waaronder SiF4, CF4, SF6, NF3 en CO2 in halfgeleidertoepassingen. Deze sensor is ontworpen met compatibiliteit voor gangbare apparatuurafmetingen, flenzen en communicatieprotocollen en is ideaal voor eindpuntdetectie bij depositie- en reinigingsprocessen van halfgeleiders, evenals terminaldetectie voor kamerreiniging, waardoor de reinigingstijd wordt verkort, kosten worden verlaagd en de productie wordt verhoogd.
| Parameter | Details |
|---|---|
| Detectieprincipe | NDIR |
| Gedetecteerde gassen | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Meetbereik | 1-264 ppm (0-200 mTorr) |
| Herhaalbaarheid | ±0,5% |
| Lineariteit | ±1% FS |
| Detectielimiet | 1 ppm |
Stuur uw vraag rechtstreeks naar ons